市場監(jiān)管總局批準發(fā)布85項國家標準物質支撐“雙碳”和精密制造

今年1月—11月，市場監(jiān)管總局新批準發(fā)布85項服務“雙碳”工作和精密制造產業(yè)發(fā)展的國家標準物質，為提高碳測量數(shù)據(jù)和精密制造測量數(shù)據(jù)精準性提供有力支撐。

在服務“雙碳”工作方面，批準發(fā)布空氣中二氧化碳氣體、乙烯中一氧化碳和二氧化碳混合氣體等72項碳計量國家標準物質。碳計量標準物質用來校準常用的碳檢測設備，如碳組分分析儀、紅外氣體分析儀等，確保儀器測量精度，也可用來標定現(xiàn)場碳監(jiān)測設備，如環(huán)境空氣質量自動監(jiān)測站、工業(yè)廢氣排放監(jiān)測儀等，確?，F(xiàn)場數(shù)據(jù)真實有效。新批準發(fā)布的72項碳計量標準物質，79.2%由企業(yè)研制生產。

在服務精密制造產業(yè)發(fā)展方面，批準發(fā)布高純氮、高純氧等13項電子氣體國家標準物質。在半導體器件制造過程中，高純度電子氣體標準物質可用于清洗、刻蝕、沉積等多個關鍵環(huán)節(jié)，確保晶圓的純凈度和性能。在集成電路生產過程中，高純度電子氣體標準物質在光刻、離子注入、氧化等工藝中發(fā)揮著重要作用，保障集成電路的穩(wěn)定性和可靠性。新批準發(fā)布的13項電子氣體國家標準物質中，93%的研制單位位于華東、華北地區(qū)，呈現(xiàn)出與產業(yè)集群協(xié)同發(fā)展的新趨勢。

市場監(jiān)管總局將加快推動碳計量和精密制造領域標準物質研制生產，持續(xù)推進國家標準物質體系建設，為我國經濟社會高質量發(fā)展提供助力。